外延_度亙激光技術（蘇州）有限公司

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外延

1.多尺寸：2”，3”，4”，6”
2.材料豐富：涵蓋GaAs、InP材料體系，可進行二元、三元、四元乃至五元材料的外延生長
3.不同結構：邊發射、垂直腔面激光器等
4.豐富的表征手段：如HRXRD，EL，PL，ECV，SEM，ELLIPSOMETRY等

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掌握外延關鍵技術：

1.材料生長工藝優化
2.界面陡峭度
3.摻雜濃度控制
4.外延缺陷控制

代表性參數/設備：

1、外延片尺寸：2-6 inch

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2、XRD曲線

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3、量子阱PL

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